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DB550 가+ 집속 이온 빔 전계 방출 주사 전자 현미경
DB550은 가+ 집속 이온 빔(악의 없는 거짓말) 컬럼과 전계 방출 주사 전자 현미경(FE-주사전자현미경(SEM))을 통합한 장비로, "슈퍼 터널" 전자 광학계(저수차, 무자성 렌즈), 3nm@30kV의 이온 분해능, 0.9nm@15kV의 주사전자현미경(SEM) 분해능을 제공합니다. 또한 나노 조작기(≤10nm 정밀도), 가스 주입 시스템(단일 GIS, ±0.1°C 온도 제어), 8인치 로드록 호환 기능을 갖추고 있습니다. 자동화된 워크플로우와 확장 가능한 검출기(EDS/EBSD/줄기)를 통해 나노 제작, 반도체 고장 분석, 재료 특성 분석에 이상적입니다.
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