오미텍 아포 장거리 작업 거리 금속 현미경 MT12/80/60/40L

주요 기술적 이점

1. 첨단 광학 시스템

   
   

• 이 제품은 아포(아포크로매틱) 장거리 작동 렌즈를 장착하고 있습니다. 예를 들어 2배/NA0.06/WD34, 5배/NA0.15/WD45, 10배/NA0.3/WD34, 20배/NA0.3/WD31 렌즈가 기본으로 제공되며, 옵션으로 50배 NA0.45/WD21, 100배 NA0.80/WD6 렌즈도 사용할 수 있습니다. 이러한 렌즈는 고배율에서도 색수차 없이 선명한 이미지를 제공하면서도, 유연한 작동을 위한 긴 작동 거리를 유지합니다.

  
  

• 무한 튜브 길이와 무한 보정 광학 시스템을 채택하여 전체 시야각에 걸쳐 밝고 선명한 이미지를 보장합니다. 사용 중 잦은 광학 보정이 필요하지 않습니다.

  
  

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2. 다양한 관찰 모드

   이 제품은 명시야, 암시야, 편광(P) 및 미분 간섭 대비(딕) 이미징을 지원합니다. 이러한 다양한 이미징 모드를 통해 반도체 칩, FPD, 회로 기판 및 정밀 금형의 표면 지형, 결함 및 재료 불균일성을 정밀하게 검사할 수 있습니다. 예를 들어, 딕 모드는 에지 검출을 개선하여 미세 균열이나 층간 박리를 더욱 효과적으로 감지할 수 있습니다.

1. 대규모 샘플 플랫폼

   4인치, 6인치, 8인치, 10인치, 12인치 플랫폼 크기를 제공하여 소형 반도체 다이부터 대형 FPD 기판까지 다양한 웨이퍼 크기에 대응할 수 있습니다. 스테이지는 수동/X/Y/Z축 이동을 지원합니다. 초점 조정 범위는 50mm~76mm이며, XY 위치 조정 범위는 210mm×210mm입니다. 미세 조정 노브를 통해 마이크로미터 수준의 정확도를 확보할 수 있으며, 이는 프로브 스테이션 정렬과 같은 중요 검사 시 안정적인 샘플 배치를 위해 필수적입니다.

   
   

2. 지능적이고 효율적인 워크플로우

   일체 포함 이미지 인식 기술이 현미경에 통합되어 결함 감지, 측정 및 데이터 로깅을 자동화합니다. 오미텍의 소프트웨어 제품군과 함께 사용하면 품질 관리가 간소화됩니다. 납땜 접합부, 코팅 균일성 또는 다이 본딩의 이상을 즉시 식별하여 인적 오류를 줄이고 검사 주기를 단축할 수 있습니다.

   
   

3. 산업용 등급 설계

   
   

• 조명이 제품은 10W 주도의 광원(밝기 조절 가능)을 사용하는 쾰러 조명 방식을 채택하여 균일하고 깜빡임 없는 조명을 제공함으로써 일관된 이미징을 가능하게 합니다. 옵션으로 제공되는 암시야/딕 모듈을 통해 대비를 더욱 향상시킬 수 있습니다.

  
  

• 포커스 시스템클릭-스톱 조절 기능이 있는 조/미세 초점 조절 노브를 통해 정밀한 Z축 제어(해상도: 0.001mm)가 가능하며, 이는 첨단 반도체의 나노 규모 특징을 관찰하는 데 매우 중요합니다.

  
  

• 내구성이 제품은 24시간 연중무휴 산업 현장에서 사용하도록 설계되었으며, 진동 방지 스테이지 마운트 및 밀폐형 광 경로와 같은 견고한 기계적 구조를 갖추고 있어 열악한 제조 환경에서도 견딜 수 있습니다.

  
  

산업 응용 분야

• 반도체 부문프로브 스테이션 작동(다이 본딩 검사, 솔더 페이스트 용량 측정), 웨이퍼 레벨 패키징(WLP) 결함 분석 및 MEMS 장치 특성 분석에 사용됩니다.

  
  

• 광전자공학에게-캔 레이저, 버터플라이 패키지 구성 요소 및 광섬유 커넥터를 검사합니다.

  
  

• 소비자 가전제품FPD(LCD/OLED) 패널의 결함을 감지하고, 터치 센서의 품질을 관리하며, PCB 기판 적층 상태를 검사합니다.

  
  

• 정밀 제조세라믹 콘덴서의 밀폐 상태, 필터 모듈 조립 상태, 고급 금형의 표면 질감 등을 검증합니다.

  
  

이 모델을 선택해야 하는 이유는 무엇일까요?

기존의 금속현미경과 달리 MT12/80/60/40L은 초장거리 작업대(WD) 덕분에 최대 100배의 고배율과 제약 없는 작업 공간을 동시에 제공합니다. 따라서 반도체 프로빙, ​​수동 마킹, 시료 재배치가 정확해야 하는 클린룸 작업 등 정밀성과 기동성이 모두 요구되는 작업에 필수적입니다. 또한 모듈식 설계로 전동 스테이지, 고해상도 카메라, 데이터 분석 소프트웨어 등의 액세서리를 추가하여 맞춤 설정이 가능하며, 향후 자동화 검사 라인 구축에도 대비할 수 있습니다.

유지보수 및 지원

Omitek은 포괄적인 사후 서비스를 제공합니다.

• 광학 부품의 계측 정확도를 보장하기 위한 교정 인증.

  
  

• 이미지 분석 및 일체 포함 알고리즘 구성 등을 포함한 소프트웨어 운영 교육 프로그램.

  
  

• 핵심 부품(대물렌즈, 조명 모듈)에 대한 예비 부품을 신속하게 공급할 수 있습니다.

  
  

결론

아포 장거리 작업 거리 금속 현미경 MT12/80/60/40L은 고부가가치, 다공성 부품의 정밀 검사 기준을 새롭게 정의합니다. 최첨단 광학 기술, 지능형 자동화, 그리고 산업 현장에서 요구되는 내구성을 결합하여 반도체, 광전자 및 첨단 제조 공정에서 무결점 품질 관리를 실현할 수 있도록 지원합니다.

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