MTS 시리즈 3D 지형 측정 시스템

혁신적인 3D 측정 기술

MTS 시리즈는 첨단 분광 공초점 기술을 활용하여 기존 측정 방식의 한계를 극복하는 비접촉식 3D 표면 측정 분야의 획기적인 발전을 이루었습니다. 깊이 스태킹이 필요한 기존 디지털 현미경이나 느린 스캔 속도를 가진 레이저 공초점 시스템과는 달리, MTS 시스템은 단 한 번의 빠른 측정 주기로 완벽한 3D 표면 데이터를 제공합니다.

핵심 기술적 이점

이 시스템의 스펙트럼 공초점 센서는 광학 분산 원리를 기반으로 작동하여 탁월한 측정 정확도를 위해 정확한 파장-거리 대응 관계를 설정합니다. 이 기술을 통해 다음과 같은 이점이 있습니다.

• 고속 측정선형 모터 구동식 XY 플랫폼을 사용하여 6000Hz의 샘플링 속도를 제공하며, 기존 스크류 구동식 시스템보다 4배 빠른 속도로 작동합니다.

  
  

• 뛰어난 해상도Z축 해상도는 ±80nm의 정확도를 가지며, 2μm만큼 작은 형상도 측정할 수 있습니다.

  
  

• 소재의 다용성: 표면 처리가 필요 없는 투명/불투명 소재, 반사 표면 및 거친 마감재를 지원합니다.

  
  

• 비접촉식 작동측정의 정확성을 유지하면서 시료 손상을 방지합니다.

• 시계의 지형 측정
  

  
  

고급 시스템 구성

광학 시스템의 우수성

MTS는 다양한 구성 옵션(MTS 01/02)을 갖춘 정교한 광학 모듈을 통합하여 0.2mm에서 10.6mm까지의 측정 범위를 제공합니다. 이 시스템은 고밀도 포인트 수집(라인당 192~1200포인트)과 정밀한 스팟 제어(5~10μm 간격)를 통해 표면을 완벽하게 커버합니다.

정밀 모션 플랫폼

• 350×350mm 이동 범위를 가진 4축 전동 플랫폼

  
  

• ±0. XY 위치 정확도 및 ±0.15μm 반복 정밀도

  
  

• 5mm Z축 스트로크와 ±0.2μm의 위치 정밀도를 제공합니다.

  
  

• 80mm/s의 고속 스캔과 탁월한 안정성

  
  

지능형 소프트웨어 통합

이 시스템은 분광 공초점 이미지 획득, 내비게이션 매핑 및 포괄적인 2D/3D 측정 기능을 갖춘 전문 분석 소프트웨어를 통합합니다. 옵션으로 제공되는 Q-디츠 데이터 상호 연결 및 아보카도 일체 포함 플랫폼을 통해 고급 분석 및 다양한 형식(단어, 뛰어나다)의 자동 보고서 생성이 가능합니다.

산업 응용 분야

MTS 시리즈는 다양한 산업 분야에서 중요한 품질 관리 기능을 수행합니다.

• 반도체범프 높이 측정, 웨이퍼 홈 분석, 결함 감지

  
  

• 전자제품PCB 검사, 부품 평면도 검증

  
  

• 자동차표면 지형 분석, 정밀 부품 측정

  
  

• 의료기기임플란트 표면 품질, 미세 특징 검사

  
  

• 연구 개발재료 특성 분석, 표면 연구

  
  

경쟁 우위

대체 기술에 비해 MTS 시리즈는 상당한 개선을 보여줍니다.

• 디지털 현미경 대비깊이 스태킹 요구 사항을 없애고 진정한 3D 데이터를 제공합니다.

  
  

• 레이저 공초점 시스템 대비측정 속도가 더 빠르고 시야각이 더 넓습니다.

  
  

• 백색광 간섭계와 비교거친 표면에서의 성능이 우수하고 유지보수 비용이 절감됩니다.

  
  

• vs. 기존 방식정확도 향상, 자동화된 작동, ​​뛰어난 반복성

  
  

이 시스템의 모듈식 설계는 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 맞춤 설정할 수 있도록 해주면서도 산업 환경에 필요한 신뢰성을 유지합니다. 20년의 업계 경험과 약 2,000개 산업 고객사에 대한 서비스 실적을 바탕으로, 용감한 사자 Technology는 MTS 시리즈가 가장 까다로운 측정 요구 사항을 충족하도록 보장합니다.

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