DMZ1000 시리즈 현미경 자동화 시스템

DMZ1000 시리즈는 첨단 광학 시스템과 지능형 모션 제어 및 데이터 분석 기능을 결합하여 미세 자동화 분야에 획기적인 발전을 가져왔습니다. 이 시스템은 현대 제조 환경, 특히 전자, 반도체 및 정밀 엔지니어링과 같이 미세 수준의 품질 관리가 요구되는 분야에서 증가하는 고정밀 자동 검사 솔루션에 대한 수요를 충족합니다.

핵심 시스템 구성 요소

이 시스템은 원활하게 연동되는 세 가지 기본 하위 시스템을 통합합니다.

광학 이미징 시스템

• 반색수차 보정 대물렌즈(5배~100배)를 사용한 무한 광학 경로 설계

  
  

• 다양한 관찰 모드: 명시야, 암시야, 혼합광, 편광, 딕

  
  

• 선택적으로 형광 및 적외선 이미징 기능을 사용할 수 있습니다.

  
  

• 고해상도 카메라 시스템 (5MP, 2464×2056 해상도)

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모션 제어 시스템

• 0.1μm 해상도의 선형 모터 구동식 XYZ 스테이지

  
  

• 플랫폼 스트로크 범위는 100×100mm에서 700×600mm까지입니다.

  
  

• 대형 시료 처리를 위한 최대 30kg의 적재 용량

  
  

• ±1.7μm의 위치 반복 정밀도로 측정 일관성 보장

  
  

지능형 소프트웨어 플랫폼

• 자동 2D/3D 이미지 스티칭 및 탐색

  
  

• 차원 분석을 위한 고급 측정 도구

  
  

• 실시간 메스 통합을 위한 Q-디츠 데이터 상호 연결

  
  

• 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞춘 맞춤형 분석 알고리즘

  
  

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주요 기술적 이점

DMZ1000은 여러 혁신적인 기능을 통해 기존 현미경 솔루션 대비 상당한 개선을 보여줍니다.

정밀 엔지니어링

3축 모두에 고해상도 격자 눈금(0.1μm)을 통합하여 탁월한 측정 정확도를 보장합니다. 선형 모터 구동 시스템은 빠른 위치 지정을 제공하는 동시에 서브마이크론 정밀도를 유지하여 현대 제조 공정의 공차 요구 사항을 충족합니다.

적응형 광학 시스템

기존 현미경과 달리 DMZ1000은 관찰 방법에 있어 전례 없는 유연성을 제공합니다. 이 시스템은 명시야, 암시야 및 DIC와 같은 고급 대비 기법 간에 원활하게 전환할 수 있어 하드웨어 변경 없이 다양한 시료 유형과 검사 요구 사항에 대응할 수 있습니다.

스마트 자동화 기능

이 시스템의 자동화 기능은 의존성과 측정 편차를 크게 줄여줍니다. 이미지 획득, 병합 및 분석을 위한 원버튼 조작은 인적 오류를 최소화하고 처리량을 향상시킵니다. 자동 확대 인식 및 보정 유지 관리는 여러 작업자와 세션 간에 일관된 결과를 보장합니다.

응용 시나리오

전자제품 제조

• PCB 트레이스 폭 및 간격 측정

  
  

• 납땜 접합부 품질 검사

  
  

• 구성 요소 배치 검증

  
  

• 비아 및 도금 품질 평가

  
  

반도체 산업

• 웨이퍼 결함 감지 및 분류

  
  

• 칩 패키지 검사

  
  

• 와이어 본딩 품질 관리

  
  

• 표면 위상 분석

  
  

첨단 소재 연구

• 미세구조 특성 분석

  
  

• 코팅 두께 - 재료 파손 분석

  
  

• 적층 제조의 품질 검증

  
  

기술 사양 심층 분석

이 시스템의 성능 특성은 다양한 산업 요구 사항을 처리할 수 있는 능력을 보여줍니다.

광학 성능

• 배율 범위: 150배~6000배 (구성 사양에 따라 다름)

  
  

• 시야각: 3.52mm~0.88mm (대물렌즈에 따라 다름)

  
  

• 개구수: 대물렌즈 범위 전체에 걸쳐 0.04~0.9

  
  

• 작동 거리: 배율에 따라 10~40mm

  
  

기계적 성능

• 최대 속도: 200mm/s (XY축)

  
  

• 최대 가속도 0.5G

  
  

• 수직 해상도: 0.1μm

  
  

• 최대 시료 높이: 90mm

  
  

소프트웨어 기능

• 측정 정확도: 측정값의 ±1%

  
  

• 보고서 형식: PDF, 뛰어나다, 사용자 지정 템플릿

  
  

• 데이터 내보내기: 주요 메스 시스템과 호환 가능

  
  

• 사용자 관리: 다단계 접근 제어

  
  

맞춤 설정 및 지원

모듈식 설계로 특정 구성이 가능합니다.

• DMZ1000: 일반적인 검사를 위한 표준 구성

  
  

• DMZ1000D: 더 큰 플랫폼을 갖춘 PCB 산업에 최적화된 제품입니다.

  
  

• DMZ1000L: 높이가 높은 부품용으로 확장된 Z축

  
  

모든 시스템에는 최적의 작동과 기존 품질 관리 프로세스에 신속하게 통합될 수 있도록 포괄적인 교육, 문서 및 지원 서비스가 포함되어 있습니다.

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